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JDS-1立式接觸式干涉儀

   本儀器是一種采用量塊或標(biāo)準(zhǔn)零件借以高精度的比較方式的立式精密長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x器。主要用于150mm以下塊規(guī)，亦可用作高精密度的長(zhǎng)度和外徑的精密測(cè)量，是各級(jí)計(jì)量室的基本長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x器之一。
JDS-1 Interferometer is applicable for measurement of 3-4 grade gauge blocks or precision sizes up to 150 mm by high-precision comparison with a higher grade of gauge block or a standard reference component. It is one of the basic length-metrological instruments.
and cylinders.
 
JDS-1立式接觸式干涉儀技術(shù)參數(shù)：

被測(cè)件最大長(zhǎng)度 Max. measured length	150 mm
工作臺(tái)行程 Lifting range of worktable	5 mm
測(cè)桿移動(dòng)范圍	0.5mm
分劃板刻度范圍	±50格
直接測(cè)量范圍 Measuring range	5-20μm
分度值調(diào)整范圍 Adjusting range of grad	0.05-0.2 μm
推薦使用分度值Recommended grad	0.1 μm
測(cè)量壓力 Measuring force	(1.5±0.1) N
儀器示值穩(wěn)定性 Indication reliability	0.02 μm
儀器誤差 Indication error	數(shù)字顯示 Digital display
最大測(cè)量誤差 Max.measurement error	n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長(zhǎng)，△λ是濾光片波長(zhǎng)誤差 n is number of divisions, i is division value △λ is error of wavelength
儀器體積 Dimensions	280×500×700 mm
儀器重量 Weight	40 kg
標(biāo)準(zhǔn)配件 Standard attachments	五筋園臺(tái)Five-Rib circular stage 九筋瑪瑙臺(tái)Agate stage 可調(diào)園平臺(tái)Adjustable planar stage 輔助臺(tái)Auxiliary stage, fixed 平面測(cè)帽P(pán)lanar contact tip, Ф2 小球面測(cè)帽Small spherical contact tip 干涉濾光片 Wavelength filter

JDS-1立式接觸式干涉儀工作原理：
   利用光學(xué)杠桿的放大原理，將微小的位移量轉(zhuǎn)換為光學(xué)影象的移動(dòng)。其工作原理如左圖所示。