測量范圍不平度平均高度值
(微米) |
表面光潔度級別 |
所需物鏡 |
總放大倍數(shù) |
物鏡組件
工作距離
(毫米)
|
視 場
(毫米) |
>0.8~1.6
>1.6~6.3
>6.3~20
>20~80 |
9
8~7
6~5
4~3 |
60timesN.A.0.55
30timesN.A.0.40
14timesN.A.0.20
7timesN.A.0.12 |
510times
260 times
120 times
60 times |
0.04
0.2
2.5
9.5 |
0.3
0.6
1.3
2.5 |