主要技術(shù)指標(biāo) |
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測(cè)量參數(shù) |
Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk |
最大測(cè)量長(zhǎng)度 |
25mm |
直線度測(cè)量精度 |
0.4μm |
濾波器 |
高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996),RC濾波器 |
截止波長(zhǎng) |
0.25,0.8,2.5 |
測(cè)量重復(fù)性 |
4% |
相對(duì)示值誤差 |
±7% |
示值穩(wěn)定性 |
4% |
測(cè)量長(zhǎng)度 |
λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
測(cè)量范圍 |
640μm |
分辨率 |
0.001μm |
測(cè)量速度 |
0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
返回速度(自動(dòng)) |
1mm/s |
傳感器針尖 |
2μm;5μm鉆石、測(cè)量力1mN;4mN |